12月3日消息,個零貴光高套光刻設備制造商ASML近日在其官網紀念品商城推出了一款特別的復價元產品——High NA EUV光刻系統(tǒng)TWINSCAN EXE:5000的樂高模型套裝。
該模型的刻全刻機定價為227.95美元,約合人民幣1653元。球最
這款樂高模型由ASML的推出員工兼樂高愛好者Rick Lenssen設計,包含851個零件,裝售尺寸為寬352mm、個零貴光高套高99mm、復價元深64mm,刻全刻機精確復刻了TWINSCAN EXE:5000的球最外觀。
High NA EUV光刻機是推出全球首款采用0.55NA數值孔徑的光刻機,分辨率達到8nm,裝售成像對比度比之前的個零貴光高套NXE系列0.33NA EUV系統(tǒng)高出40%,支持2nm邏輯節(jié)點圖案化,復價元單價高達3.5億歐元。刻全刻機
Rick Lenssen此前曾花費2.5年時間(1.5年設計藍圖、1年實際組裝)用樂高積木復現了ASML的費爾德霍芬主園區(qū),并推出過多款ASML主題的樂高套裝產品。